Автор: Усанов Д.А., Никитов С.А., Скрипаль А.В., Пономарев Д.В., Латышева Е.В.
-
Анотація:
Показана возможность одновременного измерения толщины подложки полупроводниковой структуры, толщины и удельной электропроводимости сильнолегированного эпитаксиального слоя в случае, когда исследуемый слой полупроводникового материала играет роль нарушения периодичности СВЧ фотонного кристалла. Для измерения подвижности свободных носителей заряда в сильнолегированном эпитаксиальном слое предложен модифицированный метод СВЧ-магнитосопротивления, основанный на решении обратной задачи с использованием частотных зависимостей коэффициентов прохождения и отражения, измеренных при воздействии магнитного поля и при его отсутствии.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Поширення електромагнітних коливань по лініям
|