Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Усанов, Д. А.
    Многопараметровые измерения эпитаксиальных полупроводниковых структур с использованием одномерных сверхвысокочастотных фотонных кристаллов [Текст] / Д.А. Усанов, С.А. Никитов, А.В. Скрипаль та ін. // Радиотехника и электроника. — 2016. — С. 45-53.


Автор: Усанов Д.А., Никитов С.А., Скрипаль А.В., Пономарев Д.В., Латышева Е.В.

- Анотація:

Показана возможность одновременного измерения толщины подложки полупроводниковой структуры, толщины и удельной электропроводимости сильнолегированного эпитаксиального слоя в случае, когда исследуемый слой полупроводникового материала играет роль нарушения периодичности СВЧ фотонного кристалла. Для измерения подвижности свободных носителей заряда в сильнолегированном эпитаксиальном слое предложен модифицированный метод СВЧ-магнитосопротивления, основанный на решении обратной задачи с использованием частотных зависимостей коэффициентов прохождения и отражения, измеренных при воздействии магнитного поля и при его отсутствии.

- Є складовою частиною документа:

- Теми документа

  • УДК // Поширення електромагнітних коливань по лініям



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт