Рассмотрен подход к автоматизации процесса формирования топологической информации для производства фотошаблонов субмикронных сверхбольших интегральных схем. Разработано программное обеспечение, интегрированное с системой автоматизированного проектирования "Calibre" фирмы "MentorGraphics". Ключевые слова: САПР, фотошаблон, литография, программное обеспечение, Python, Tcl, СБИС