|
Автор: Зарвин А.Е., Каляда В.В., Коробейщиков Н.Г., Ходаков М.Д., Шмаков А.А.
-
Анотація:
Описана модификация экспериментальной установки ЛЭМПУС-1, выполненная с целью расширения возможностей проведения исследований плазмохимических реакций и процессов формирования кластеров в газовых струях при импульсном режиме истечения, а также технологических процессов при кластерно-ионной обработке поверхности. Установка обеспечивает масс-спектрометрию молекулярных пучков, сформированных из сверхзвуковых струй газов и газовых смесей, изучение плазмохимических реакций, инициируемых в струях самостоятельным и несамостоятельным разрядом, изучение процессов формирования кластеров в смесях газов, моделирование процессов сверхзвукового истечения с большими расходами из звуковых и сверхзвуковых сопел. Установка высокопроизводительных безмасляных вакуумных насосов обеспечивает возможность изучения процессов в газовых струях в присутствии углеводородных примесей. Оснащение установки системами ионизации и ускорения потоков позволяет изучать процессы взаимодействия кластеров и ионов с твердой поверхностью при газоструйной обработке покрытий.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Рідинне ( газоподібне) средовище. Рідини. Гази
-
УДК // Розріджені гази. Фізика вакууму
-
УДК // Фізика окремих молекул
|
