Приводятся результаты диагностики локальных параметров ксеноновой плазмы высокочастотного индукционного (ВЧИ) разряда с частотой 2 МГц при давлении 2 мТорр и мощности разряда до 176 Вт. Измерения проводились цилиндрическими вольфрамовыми зондами диаметром 0,15 мм с использованием зондовой станции Plasma Sensors VGPS-12. Данный прибор обеспечивает обработку локальных параметров ВЧИ-плазмы методом Дрювестейна. В работе использовалось понятие «первый зондодержатель», которое обозначает элемент конструкции зонда, прилегающий непосредственно к измерительной части. Введен параметр соотношения размеров длины зонда и диаметра первого зондодержателя, позволяющего оценить степень вносимых зондом возмущений параметров плазмы. Определены значения этого соотношения, при которых можно пренебречь искажениями, вносимыми данным зондодержателем в оценках параметров плазмы.
