|
Автор: Мазаев П.В., Коледов В.В., Шавров В.Г., Лега П.В., Маширов А.В., Каманцев А.П., Кучин Д.С., Колесов Д.В., Яминский И.В., Захаров Д.И., Дикан В.А., Иржак А.В.
-
Анотація:
Исследованы термомеханические свойства микроактюаторов с ЭПФ на основе слоистого композита Ti2NiCu/Pt. С помощью атомно-силового микроскопа экспериментально определена жесткость композитных микроактюаторов в виде кантилеверов с размерами около 50 ? 2 ? 1 мкм и толщиной активного слоя сплава с ЭПФ 0.5 мкм в температурном диапазоне 20... 100°С. Приведены количественные оценки силы воздействия композитного актюатора на микрообъект. Найдено, что результаты экспериментов и теоретических расчетов находятся в удовлетворительном согласии.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Інші вимірювальні прилади
-
УДК // Нанотехнологія
|
