|
| 621.7 | | А42 | Аксенов, Д. С.
Повышение функциональных характеристик плазменных фильтров для осаждения многокомпонентных покрытий [Текст] : дис. ... канд. техн. наук : 05.03.07 - процессы физико - техн. обраб. : защищ. 11.11.16 / Нац. акад. наук Украины, Нац. науч. центр "Харьк. физико - техн. ин-т" ; науч. рук. Стрельницкий В. Е. — Харьков, 2016. — 161 с. | |
| | |
|
