Зведений каталог бібліотек Харкова
Шенгуров, В. Г. Кремниевый сублимационный источник для молекулярно-лучевой эпитаксии [Текст] / В.Г. Шенгуров, С.А. Денисов, В.Ю. Чалков, Д.В. Шенгуров // Приборы и техника эксперимента : научный журнал / РАН. — С. 138-141.
- Анотація:
Описан сублимационный источник для молекулярно-лучевой эпитаксии кремниевых слоев c пластиной из легированного Si прямоугольной формы. Пластина крепится на пружинящих молибденовых зажимах с шириной контактной площадки меньше ширины пластины, что обеспечивает возможность испарения атомов Si с высокой плотностью потока. Приведены критерии выбора геометрии контактных площадок, на которых крепится кремниевая пластина-источник
- Є складовою частиною документа:
Приборы и техника эксперимента [Текст] : научный журнал / РАН. — М.
- Теми документа
