Исследованы процесс и структура, формирующаяся при конденса-ции вакуумных ионно-плазменных покрытий. Комплексный анализ этого процесса позволил установить природу аномальных явлений в период наращивания покрытия, приводящих к возникновению и росту дефектов, а также выявить условия, при выполнении которых исключаются де-фектные образования в структуре покрытия. Ключевые слова: вакуумные ионно-плазменные покрытия, процесс конденсации, структура, анализ дефектов, условия исключения дефектности.
