Решением нестационарной совместной задачи теплопроводности и темоупругости получены поля температур в зоне действия ионов В,С,N, Al, Ti, V, Cr,Fe,Co, Ni, Y, Zr,Nb, Mo, Hf, Ta, W, Pt. Анализ максимальных температур в зоне их действия и на границе образования наноструктур, а также скорости нарастания температур показал возможность образования нанокластеров и нанослоев.