|
Автор: Ковалев В.И., Руковишников А.И., Россуканый Н.М., Ковалев С.В., Ковалев В.В., Амеличев В.В., Костюк Д.В., Васильев Д.В., Орлов Е.П.
-
Анотація:
Описан светодиодный магнитооптический эллипсометр с переключением ортогональных состояний поляризации, отличительными особенностями которого являются: реализация максимально глубокой азимутальной модуляции, применение двухканального детектора, использование набора светодиодов, обеспечивающих высокое отношение сигнал/шум, и отсутствие движущихся поляризационных элементов.
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Нанесення покриття та осадження плівок шляхом вакуумного випаровування і конденсаціі
|
