Методами электронной микроскопии и профилометрии исследована структура пленок сплава алюминий-кремний (99% Al и 1% Si), полученных физическим магнетронным распылением. Исследованы и получены величины среднего размера зерна плёнок сплава алюминий-кремний при варьируемых мощности распыления, продолжительности распыления и толщине металлизации.

Вестник Московского Авиационного института [Текст] / Московский авиационный институт // Вестник Московского Авиационного института ; Московский авиационный институт - М. : МАИ. — М. : МАИ, 2012.

• УДК // Умови та характеристики виробничих процесів, устаткувань та обладнання