Зведений каталог бібліотек Харкова
621.38М80Моро, У. Микролитография [Текст] : принципы, методы, материалы : в 2-х ч. / У. Моро. — М. : Мир, 1990. — 605 с. ISBN 5-03-001716-Х*
- Теми документа