Зведений каталог бібліотек Харкова
621.38Х46Ионычева, Л. С. Химические процессы в микроэлектронике [Текст] : учеб. пособие / Л.С. Ионычева, Н.Д. Волкова, Е.Д. Крапивная, И.А. Батракова. — Х. : ХАИ, 1986. — 48 с.
- Теми документа