Зведений каталог бібліотек Харкова
Козлов, А. Г. Моделирование распределения температуры в структуре теплового микроакселерометра с инерционной массой [Текст] / А.Г. Козлов // Нано- и микросистемная техника. — 2005. — №6. — С. 22-33.
- Є складовою частиною документа:
Нано- и микросистемная техника [Текст]. — 2005. — №6.
- Теми документа