Белов, А.     Локальное травление кремния с использованием твердой маски на основе пористого оксида алюминия [Текст] / А. Белов // Электронные компоненты и системы. — 2007. — №2. — С.11-14.

Наявність
Установа	Кількість	Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Харківського національного економічного університету імені Семена Кузнеця		Перейти на сайт