Зведений каталог бібліотек Харкова
32.852П53 Полупроводниковые пленки для микроэлектроники [Текст] : [моногр.] / АН СССР, Ин-т физики полупроводников , отв. ред. : Л. Н. Александров, В. И. Петросян. — Новосибирск : Наука, 1977. — 248 с.
- Ключові слова:
- Теми документа