|
-
Ключові слова:
імплантація, имплантация ; електронно-променеві прилади, электронно-лучевые приборы ; технології, технологии,technologies
-
Теми документа
-
ББК // Електроніка.
-
УДК // Нанесення металевого та неметалевого покриття. Нанесення провідникового, напівпровідникового, діелектричного, магнітного покриття та плівок, а також плівок і покриття з електричним опром. Металізація
|
