багатокомпонентні системи, многокомпонентные системы ; багатошарові контактні системи, БКС, многослойные контактные системы, МКС ; бар'єр Шотткі, БШ, барьер Шоттки ; електронна мікроскопія, электронная микроскопия ; контактно-металізаційні системи, КМС, контактно-металлизационные системы ; резерфордівське зворотнє розсіяння, РЗР, резерфордовское обратное рассеяние, РОР ; рентгенівська дифрактометрія, РД, рентгеновская дифрактометрия ; тонкі плівки, тонкие пленки

Диссертация посвящена исследованию процессов деградации контактно-металлизационной системы на самых начальных стадиях формирования барьера Шоттки и поиску возможности надежного прогнозирования изменения электронных параметров потенциального барьера границы раздела, который формируется. Исследования базируются на объединении ядерно-физических методов контроля тонких пленок металлов и химических соединений на поверхности арсенида галлия с анализом фазового состава системы дифракционными методами.

• УДК // Елементарні та найпростіші частинки ( заряд, менший ніж З ) альфа-промені, вета-промені, гамма-промені як окремі частинки чи випромінювання