Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

621.382
В 15Валиев, К. А.
    Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике [Текст] / К.А. Валиев, А.В. Раков. — М. : Радио и связь, 1984. — 350 с.

- Ключові слова:

інтегральні мікросхеми, ІМС, интегральные микросхемы, ИМС, integrierte Mikroschaltungen ; літографія, литография ; мікроелектронні схеми, микроэлектронные схемы

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки 3 Перейти на сайт
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського 2 Перейти на сайт