Зведений каталог бібліотек Харкова

 

621.382(07)
А91Астахова, Н. А.
    Плазмохимическое травление и ионное легирование полупроводниковых структур [Текст] : лаб. практикум по курсу "Технология интегральных полупроводниковых схем" / Н.А. Астахова, Г.И. Глазова. — М. : МИЭТ, 1988. — 72 с.


- Ключові слова:

іонне легування, ионное легирование ; напівпровідникові структури, НПС, полупроводниковые структуры, ППС ; напівпровідникові схеми, полупроводниковые схемы, semiconductor circuits

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки 1 Перейти на сайт