Зведений каталог бібліотек Харкова

 
Пошук Відібрані Опис документа
Початкова сторінка Сайт УФД

621.382(07)
Г96Гусев, В. В.
    Плазменное технологическое оборудование микроэлектроники [Текст] : учебное пособие / Моск. ин-т электрон. техники. — М. : МИЭТ, 1988. — 102 с.

- Ключові слова:

обладнання, оборудование ; плазмова електроніка, плазменная электроника

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки 5 Перейти на сайт