водень, водород ; кремній, кремний ; ливарні форми, литейные формы ; оптико-електронні системи, оптико-электронные системы ; теплові явища, тепловые явления

Дисертаційна робота присвячена дослідженню процесів одержання великогабаритних кристалів кремнію методом лиття та розробці технологій, спрямованих на підвищення їх якості. Вдосконалено спосіб одержання кремнієвих виливків заливанням росплаву у відкриті ливарні графітові форми з використанням верхнього теплопідведення і подальшою спрямованною кристалізауією. Показано, що спрямована кристалізація у розбірних графітових формах може здійснювати лише у кремнієвому гарнісажі. Розроблено конструкцію пласких нагрівачів, ливарних форм і теплового вузла для проведення направленної кристалізації великогабаритних виробів, що забеспечують мінімальні температурні градієнти. Розроблено методики визначення вмісту водню в кремнії та питомої швидкості дегазації розплаву кремнію. Визначено характер розподілу газовик раковин у виробах різної конфігурації. Встановлено, що раковини у литих кремнієвих виробах утворюються на границі стику шарів, що кристалізуються, при цьому порушуються умови виводу газу з їх об'єму. Розроблено промислову технологію одержання великогабаритних кремнієвих заготівок суцільної та полегшеної конмтрукції діаметром до 1000 мм.

• УДК // Електронні напівпровідники