електронна мікроскопія, электронная микроскопия ; молекулярно-променева епітаксія, МПЕ, молекулярно-лучевая эпитаксия, МЛЭ ; нанокристалічні матеріали, нанокристаллические материалы ; нанокристалічні порошки, нанокристаллические порошки ; нанолітографія, нанолитография ; наноматеріали, наноматериалы ; наноструктури, наноструктуры, nanostructures ; нанотехнології, НТ, нанотехнологии, nanotechnology ; наночастинки, наночастицы

• УДК // Електроніка. Мікроелектроніка