-
Ключові слова:
мікроелектронна апаратура, МЕА, микроэлектронная аппаратура, МЭА ; технологічне оснащення, технологическое оснащение ; якість, качество
-
Теми документа
-
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
|