-
Ключові слова:
вакуум, вакуум ; виробництво, производство, production ; радіоелектронна апаратура (РЕА), радиоэлектронная аппаратура (РЭА) ; тонкі плівки, тонкие пленки
-
Теми документа
-
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
|