Зведений каталог бібліотек Харкова

 

Булатов, А. Н.
    Исследование адсорбата воздуха на твердотельных подложках методами атомно-силовой микроскопии [Текст] / А.Н. Булатов, С.В. Хартов // Известия высших учебных заведений. Электроника : научно-технический журнал. — М., 2004. — №4. — С.9-16.


- Ключові слова:

поверхневі явища в твердих тілах, поверхностные явления в твердых телах ; мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics ; напівпровідникові прилади, полупроводниковые приборы, semiconductor devices

- Анотація:

Определена толщина слоя адсорбата воздуха, присутствующего на подложках в условиях атмосферы, методами зондовой микроскопии. Получены результаты для различных материалов подложек и уровней относительной влажности воздуха. Исследовано поведение адсорбата воздуха при его возмущении внешним механическим воздействием

- Є складовою частиною документів:

- Теми документа

  • УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
  • УДК // Загальна механіка. Механіка твердих та жорстких тіл
  • УДК // Лампи,керовані електронним пучком



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Науково-технічна бібліотека Національного аерокосмічного університету ім. М.Є. Жуковського   Перейти на сайт
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки   Перейти на сайт