-
Ключові слова:
поверхневі явища в твердих тілах, поверхностные явления в твердых телах ; мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics ; напівпровідникові прилади, полупроводниковые приборы, semiconductor devices
-
Анотація:
Определена толщина слоя адсорбата воздуха, присутствующего на подложках в условиях атмосферы, методами зондовой микроскопии. Получены результаты для различных материалов подложек и уровней относительной влажности воздуха. Исследовано поведение адсорбата воздуха при его возмущении внешним механическим воздействием
-
Є складовою частиною документів:
-
Теми документа
-
УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
-
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
-
УДК // Загальна механіка. Механіка твердих та жорстких тіл
-
УДК // Лампи,керовані електронним пучком
|