|
-
Ключові слова:
мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics ; мікросхеми, микросхемы, Mikroschaltungen ; інтегральні мікросхеми, ІМС, интегральные микросхемы, ИМС, integrierte Mikroschaltungen
-
Анотація:
Рассмотрены вопросы разработки и применения технологических радиационно-термических процессов (РТП), основанных на использовании операций облучения микросхем большими потоками быстрых электронов при высоких интенсивностях потоков для управления электрическими параметрами и повышения радиационной стойкости (РС). Показано, что применение РТП дает возможность эффективно улучшать параметры и повышать РС микросхем
-
Є складовою частиною документа:
-
Теми документа
-
УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
|
