|
-
Ключові слова:
літографія, литография ; мікроелектронні пристрої, микроэлектронные устройства ; мікросхеми, микросхемы, Mikroschaltungen ; пластини, пластины ; технологічні процеси, ТП, технологические процессы ; тонкі плівки, тонкие пленки
-
Теми документа
-
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
|
