багатошарові структури, БС, многослойные структуры, МС ; гетероструктури, гетероструктуры ; дисперсійні рівняння, дисперсионные уравнения ; коефіцієнт відбиття, коэффициент отражения ; надгратки, сверхрешетки ; напівпровідники, полупроводники, semiconductors, Halbleiter ; рефлектометрія, рефлектометрия ; спектрометри, спектрометры, spectrometers ; структурний аналіз, структурный анализ ; теорія дифракційного випромінювання, теория дифракционного излучения

• УДК // Дифракція