Зведений каталог бібліотек Харкова

 

621.382
Д18Данилин, Б. С.
    Ионное травление микроструктур [Текст] / Б.С. Данилин, В.Ю. Киреев. — Москва : Советское радио, 1979. — 103 с.


- Ключові слова:

інтегральні схеми, ІС, интегральные схемы, ИС, integrated circuits ; інтегральні схеми, интегральные схемы ; мікроелектронні схеми, микроэлектронные схемы ; щавлення , травлення ( техн. ), травление

- Теми документа

  • УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи



Наявність
Установа Кількість Документ на сайті установи
Наукова бібліотека Харківського національного університету радіоелектроніки 14 Перейти на сайт