-
Ключові слова:
інтелектуальні матеріали, интеллектуальные материалы ; електронні системи, ЕС, электронные системы, ЭС ; квантово-механічні ефекти, квантово-механические эффекты ; кремнієві структури, кремниевые структуры ; міжз'єднання, межсоединения ; мікроелектромеханічні системи, МЕМС, микроэлектромеханические системы, МЭМС ; мікрооптоелектромеханічні системи, МОЕМС, микрооптоэлектромеханические системы, МОЭМС ; мікросистемотехніка, МСТ, микросистемотехника ; нанобіологічні структури, нанобиологические структуры ; нанороботи, нанороботы ; нанотехнології, НТ, нанотехнологии, nanotechnology ; полімерні матеріали, полимерные материалы ; провідникові матеріали, проводниковые материалы ; сенсори, сенсоры ; технології виготовлення, технологии изготовления ; фотонні кристали, ФК, фотонные кристаллы
-
Зміст:
-
Теми документа
-
УДК // Бioлогiчні науки в цілому
-
УДК // Вуглець C
-
УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
-
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
-
УДК // Матеріали, що піддаються обробці
-
УДК // Медичні науки
-
УДК // Мікроелектроніка. Інтегральні схеми
-
УДК // Нанотехнологія
-
Праці співробітників ХНУРЕ // Невлюдов Ігор Шакирович, Невлюдов Игорь Шакирович, Nevliudov Igor Shakirovych
-
Праці співробітників ХНУРЕ // Палагін Віктор Андрійович, Палагин Виктор Андреевич, Palagun Victor Andriyovych
-
Праці співробітників ХНУРЕ // Семенець Валерій Васильович, Семенец Валерий Васильевич, Semenets V. V.
|