біомікроелектромеханічні системи, БіоМЕМС, биомикроэлектромеханические системы, БиоМЭМС ; біонаноелектромеханічні системи, БіоНЕМС, бионаноэлектромеханические системы, БиоНЭМС ; мікроактюатори, микроактюаторы ; мікроелектромеханічні системи, МЕМС, микроэлектромеханические системы, МЭМС ; наноелектромеханічні системи, НЕМС, наноэлектромеханические системы, НЭМС ; наноробототехніка, наноробототехника ; нанотехнології, НТ, нанотехнологии, nanotechnology ; нанотрибологія, нанотрибология ; синергетика, синергетика ; скануюча зондова мікроскопія, СЗМ, сканирующая зондовая микроскопия ; тонкоплівкові структури, тонкопленочные структуры

• УДК // Нанотехнологія