|
-
Ключові слова:
інтегральні мікросхеми, ІМС, интегральные микросхемы, ИМС, integrierte Mikroschaltungen ; електрохімічна обробка, ЕХО, электрохимическая обработка, ЭХО ; напівпровідникові прилади, полупроводниковые приборы, semiconductor devices
-
Теми документа
-
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
|
