|
-
Ключові слова:
іонно-плазмове розпилення, ионно-плазменное распыление ; вакуумно-дугове випаровування, вакуумно-дуговое испарение ; вакуумно-плазмові покриття, вакуумно-плазменные покрытия ; наноструктурне матеріалознавство, наноструктурное материаловедение ; Phisical Vapon Deposition, PVD
-
Теми документа
-
УДК // Взаємодія плазми з поверхнею твердих тіл
|
