|
-
Ключові слова:
неруйнівний контроль, неразрушающий контроль ; параметри, параметры ; плівки, пленки ; резонатори, резонаторы, resonators ; структури, структуры, structures
-
Анотація:
Цель работы - разработка СВЧ методов и средств неразрушающего контроля основных электрофизических параметров полупроводников ( толщины и электропроводности полупроводниковых пленок; подвижности и времени жизни носителей заряда; параметров диффузионных и переходных слоев).
-
Теми документа
-
УДК // Електронні напівпровідники
-
УДК // Інші електровимірювальні прилади
|
