випробування, испытания ; конструкції, конструкции ; контактно-металізаційні системи, КМС, контактно-металлизационные системы ; контроль, control ; металізація, металлизация ; оптимізація, оптимизация, optimization ; параметри, параметры ; полімідні плівки, полимидные плёнки ; пристрої, устройства, devices ; силіциди, силициды ; технологія, технология

Объектом исследования является гибридная микросхема с установкой кристаллов на кремниевую подложку методом эвтектической пайки и формированием металлизированной разводки по слою окисла и по полимидной пленке. Цель работы - разработка конструкции и технологии изготовления кремниевых гибридных интегральных микросборок повышенной надежности. разработка опытных образцов технологической оснастки.

• УДК // Мікроелектроніка. Інтегральні схеми