вихрострумові вимірювальні перетворювачі, вихретоковые измерительные преобразователи ; діелектричні плівки, диэлектрические плёнки ; металеві плівки, металлические пленки ; плівки, пленки ; резонаторні вимірювальні перетворювачі, РВП, резонаторные измерительные преобразователи, РИП

Объектом исследования является зависимость выходных характеристик СВЧ резонаторных и вихретоковых измерительных преобразователей (ИП) от параметров тонкопленочных структур. Цель работы - разработка СВЧ и ВЧ методов измерения и создание измерительных средств на их основе для неразрушающего контроля толщины диэлектрических пленок на проводящих подложках и металлических покрытий на диэлектрических основаниях. Теоретические исследования связаны с описанием характеристик преобразования СВЧ ИП на основе цилиндрического резонатора с Е- видом колебаний и вихретокового ИП, а также способов повышения их чувствительности и точности измерения толщины тонких пленок.

• УДК // Інші електровимірювальні прилади