автоматизація, автоматизация, automation, Automatisierung ; мікросхеми, микросхемы, Mikroschaltungen ; параметри, параметры

Целью исследований были разработка методов стабилизации параметров интегральных схем, совершенствование технологических операций для сокращения цикла выпуска микросхем, автоматизация технологического процесса юстировки пленочных резисторов. При проведении работ применялись стандартные приборы и методы определения сопротивления, его температурного коэффициента и коэффициента отжига. Для разработки информационно-измерительной юстировочной системы применялись микропроцессорный вычислительный блок на базе персонального компьютера, а также ряд новых измерительно-управляющих блоков.

• УДК // Одержання тонких плівок
• УДК // Резистори. Реостати