НВЧ ; мікрохвильова мікроскопія, микроволновая микроскопия ; обробка сигналів, обработка сигналов, signal processing ; резонаторні вимірювальні перетворювачі, РВП, резонаторные измерительные преобразователи, РИП

Об'єкт дослідження - метод мікро- та нанодіагностики і модифікації материалів в нанотехнологиях. Мета роботи - розробка теоретичних та експерементальних основ та створення ближньопольового мікрохвильового скануючого мікроскопа для мікродіагностики напівпровідникових матеріалів, інтегральніх структур та локальної модифікації матеріалів.

• УДК // Електронні напівпровідники