дислокація (техн.), дислокация ; епітаксія, эпитаксия ; кремнієві одношарові епітаксійні структури, КОЕС, кремниевые однослойные эпитаксиальные структуры, КОЭС ; піроліз силану, пиролиз силана ; термонапруга, термонапряжение

У дисертації розроблено технології виробництва кремнієвих одношарових епітаксійних структур (КОЕС) з різкими концентраційно-перехідними областями і поліпшеними структурними характеристиками. Виконано розрахунки термопружного вигину і термонапруг, які можна застосувати для прогнозування виникнення дислокацій, ліній ковзання та інших структурних дефектів, що з'являються в КОЕС у результаті термообробки. Розроблена установка "Вертикаль-2МА" для отримання КОЕС при зниженому тиску і температурі в реакторі. Розроблено науково-обґрунтовану методику і пристрій контролю складних форм вигину і напруги в КОЕС. Розраховані вирази для визначення критичних напружень G_kp і критичного радіального градієнта температур Т_kp та визначений взаємозв'язок цих виразів з діаметром, товщиною КОЕС і пружними постійними (модулем Юнга Е та коефіцієнтом Пуассона v).

• УДК // Вплив неметалів, крім вуглецю
• УДК // Продукти хімічної промисловості