|
-
Ключові слова:
ідентифікація, идентификация ; адаптаційна оптимізація, адаптационная оптимизация ; ефективність виробництва, эффективность производства, production efficiency, industrial productivity ; класифікація, классификация, classification ; кореляція, корреляция, correlation ; монокристали, монокристаллы ; опір, сопротивление, resistance, R
-
Анотація:
В отчете проведено обоснование выбранного направления исследований. Построены математические модели скорости роста эпиктаксиального слоя. Найдены оптимальные режимы протекания технологического процесса. Исследованы деформации, возникающие в процессе роста эпитаксального слоя.
-
Теми документа
-
УДК // Організація виробничого процесу
|
