арсенід галію, арсенид галлия ; діелектричні плівки, диэлектрические плёнки ; кремнієві сонячні елементи, кремниевые солнечные элементы ; оптичні елементи, оптические элементы ; плазмова обробка, плазменная обработка

В дисертаційній роботі автором розроблено нову технологію, яка включає плазмові обробки та осадження алмазоподібних вуглецевих плівок (АВП). Вперше показано, що деградаційна стійкість оптичних елементів на основі кристалів напівізолюючого GaAs до дії Y-опромінення може бути покращена завдяки осадженню просвітлюючих і захисних АВП. Оптимізовано технологічні режими осадження АВП для отримання плівок з заданими властивостями. Показана можливість покращення коефіцієнта корисної дії (к.к.д.) сонячних елементів (CE) на основі мультикристалічного кремнію в 1,5 рази завдяки осадженню АВП та використанню розробленої фотовольтаїчної концентраторної системи. Встановлено механізми модифікації та відновлення структури плівок Si0_2 при іонних обробках та УФ-опроміненні. Розроблено автоматизовану систему управління установкою газодетонаційного осадження ізолюючих, теплопровідних шарів.

• УДК // Ніздрювата структура. Плівки, Тонкі плівки. Променеві структури