|
-
Ключові слова:
вимірювання, измерения, la mesure, measurements ; діелектричне середовище, диэлектрическая среда ; напівпровідникові структури, НПС, полупроводниковые структуры, ППС
-
Анотація:
Целью данной работы является разработка СВЧ- методов и аппаратуры для исследования в технологическом процессе изготовления диэлектрических и полупроводниковых структур.
-
Теми документа
-
УДК // Інші електровимірювальні прилади
|
