|
Автор: Тимофеев В.Н., Погалов А.И., Угольников С.В., Андрианов А., Панкратов О.В.М.
-
Ключові слова:
датчики (давачі) тиску, датчики давления ; демпфіруючі конструкції, демпфированные конструкции ; електромеханіка, электромеханика, electromechanics ; мікроакселерометри, микроакселерометры ; мікрогіроскопи, микрогироскопы ; мікродзеркала, микрозеркала ; мікромеханічні прилади, микромеханические приборы ; мікросистемотехніка, МСТ, микросистемотехника ; механічні коливання, механические колебания, mechanical oscillations
-
Теми документа
-
УДК // Електроніка. Мікроелектроніка
|
