Пояснювальна записка містить 76 сторінок, 35 рисунків, 5 додатків, 27 використаних джерел. Об'єкт дослiдження ? мікроелектромеханічні акселерометри. Мета проекту ? дослідження існуючих мікроелектромеханічніх акселерометрiв широкого застосування, порівняння застосовуваних технологій при розробці і виробництві акселерометрів. Метод дослідження ? дедуктивно-аналітичний. Розроблюваний датчик може представляти практичний інтерес, як для розробників аналогічних пристроїв, так і для фахівців в галузі промислових систем вимірювання та управління, в інерційних системах навігації, в системах контролю стану механічних несучих, системах реєстрації ударів і вібрацій, у спортивних диагностирующих приладах, в ударних вимикачах. МІКРОАКСЕЛЕРОМЕТР, КОНСТРУКЦІЯ, ПРИСКОРЕННЯ, МІКРО ЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНА СИСТЕМА, ТЕХНОЛОГІЯ, СХЕМА Пояснительная записка содержит 76 страниц, 35 рисунков, 5 приложений, 27 источников литературы. Объект исследования - микроэлектромеханические акселерометры. Цель проекта - исследование существующих микроэлектромеханических акселерометров широкого применения, сравнение применяемых технологий при разработке и производстве акселерометров. Метод исследования - дедуктивно-аналитический. Разрабатываемый датчик может представлять практический интерес, как для разработчиков аналогичных устройств, так и для специалистов в области промышленных систем измерения и управления, в инерциальных системах навигации, в системах контроля состояния механических несущих, системах регистрации ударов и вибраций, в спортивных диагностирующих приборах, в ударных выключателях. МИКРОАКСЕЛЕРОМЕТР, КОНСТРУКЦИЯ, УСКОРЕНИЕ, МИКРО ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКАЯ СИСТЕМА, ТЕХНОЛОГИЯ, СХЕМА. Explanatory note contains 76 pages, 35 images, 5 applications, 27 sources of literature. The object of development ? microelectromechanical accelerometers. The purpose of the project ? a study of the existing widespread use of microelectromechanical accelerometers, a comparison of the technologies in the design and manufacture of accelerometers. The sensor should implement tracking the level of acceleration and when it exceeds a signal applied to the control system. The method of research - deductive-analytical. The designed sensor can be of practical interest, both for developers of similar devices as well as for experts in the field of industrial measurement and control systems, in inertial navigation systems to monitor the status of the mechanical bearing, registration systems, shock and vibration in sports diagnosing instruments, in shock breakers. MICROACCELEROMETERS, ACCELERATION, MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNOLOGIES, SCHEME.
