|
-
Ключові слова:
гетерогенні структури, гетерогенные структуры ; епітаксійні структури, эпитаксиальные структуры ; мікроелектроніка, микроэлектроника, microelectronics ; мікроморфологія, микроморфология ; нанотехнології, НТ, нанотехнологии, nanotechnology ; термодифузія, термодиффузия ; фізико-хімічні системи, физико-химические системы
-
Теми документа
-
УДК // Електронні пристрої із використанням властивостей твердого тіла. Напівпровідникові елементи
-
УДК // Нанотехнологія
|
