|
-
Ключові слова:
іонна імплантація, ионная имплантация ; МОН-транзистори, МОП- транзисторы, MOS- transistors ; комплементарна логіка на транзисторах метал-окид-напівпровідник, КМОН, комплементарная логика на транзисторах металл-оксид-полупроводник,КМОП, CMOS-technology ; надвеликі інтегральні схеми, НВІС, сверхбольшие интегральные схемы, СБИС ; субмікронні гетероструктурні транзистори, субмикронные гетероструктурные транзисторы
-
Теми документа
|
