Темою даної дипломної роботи є дослідження вихретокового резонансного методу контроля несплошності тонких не феромагнітних плівок. Основна мета - дослідити метод контролю пористості тонких металевих плівок і виявити критерії наявності пористості структури. У роботі був проведений аналіз вітчизняних і зарубіжних розробок подібного призначення, основні способи контролю пористості, розглянуто основні типи апаратної реалізації вихрострумового вимірювального приладу. Проаналізовано існуючі методи контролю пористості і виділені їхні переваги й недоліки, досліджено критерії надійності вихрострумового вимірювального приладу. БЕЗКОНТАКТНІСТЬ ВИМІРЮВАННЯ, ОБ'ЄКТ КОНТРОЛЮ, ВИХОРОСТРУМОВИЙ ПЕРЕТВОРЮВАЧ, ТОВЩИНА ОБ'ЄКТА КОНТРОЛЮ, МАГНІТНИЙ ПОТІК, ЕЛЕКТРИЧНЕ ПОЛЕ, РІЗНИЦЯ ПОТЕНЦІАЛІВ, КОТУШКИ ІНДУКТИВНОСТІ, ЦИЛІНДРИЧНІ ВИМІРЮВАЛЬНІ КОТУШКИ, ПЛОСКА ВИМІРЮВАЛЬНА КОТУШКА. The theme of this thesis is to study the resonance method of control discontinuity of non-ferromagnetic thin films, addressing issues related to the non-destructive eddy current testing of non-ferromagnetic coatings. The main objective - to investigate a method of control porosity of thin metal films and identify the criteria for the existence of porosity structure. The work was performed an analysis of domestic and foreign developments such purpose, the main ways to control the porosity, the basic types of hardware implementation of eddy current instrument. Analyzes the existing methods of control of porosity and allocated their advantages and disadvantages, investigated the criteria of reliability of eddy current instrument. NON-CONTACT MEASUREMENT, CONTROL OBJECT EDDY CURRENT PROBES, THICKNESS CONTROL FACILITY, THE MAGNETIC FLUX, ELECTRIC FIELD, DP, INDUCTORS, CYLINDRICAL MEASURING COIL, FLAT MEASURING COIL
