Работа посвящена совершенствованию мониторинга производственных дефектов, обеспечивающего предсказание параметрических отказов, изменение и корректировку технологических процессов производства приборов, гибридных и интегральных структур функциональной электроники, сборки, монтажа и герметизации интегральных микросхем и приборов ЭТ. Проведен анализ существующих подходов к проблеме производственных дефектов ЭТ и методов их обнаружения. Достоверность такого анализа информации в ряде случаев не вполне отвечает требованиям при решении практических задач обеспечения качества ЭТ. В результате анализа существующих подходов к проблеме производственных дефектов ЭТ, методов их обнаружения и предсказания за основу моделирования и отображения процессов взяты принципы распознавания с участием ЛПР, когда решение принимается на основе известного наблюдаемого механизма процессов. Предложен метод реализации гарантированного прогноза изменения параметров ЭТ на основе решения уравнения эволюции с использованием алгоритмов оптимальной фильтрации, которые применяются при решении задач оценивания и предсказания. Предложен алгоритм, определяющий динамику отображаемой среды, включающий правило, которое дает воз-можность принимать гарантированное решения о техническом состоянии ЭТ. МОНИТОРИНГ, ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ, ОТКАЗЫ, ПРОГНОЗ, ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС. Робота присвячена удосконаленню моніторингу виробничих дефектів, що забезпечує завбачення параметричних відмовлень, зміну і коректування технологічних процесів виробництва приладів, гібридних і інтегральних структур функціональної електроніки, складання, монтажу і герметизації інтегральних мікросхем і приладів ЕТ. Запропоновано використовувати уявлення про відображувану область значень параметрів ЕТ, як про об'єкт, у якому знаходиться частина непрореагованої речовини, що змінюється з часом і ці зміни відбуваються у відповідності закономірностям протікання реальних реакцій. Запропоновано рівняння еволюції технічного стану ЕТ, яке основане на детермінованій кінетичній моделі процесів, що відбуваються в багато-компонентному середовищі, і модель спостереження, що враховує помилки, викликані нестабільністю зовнішніх впливів, і похибок вимірювань. МОНІТОРИНГ, ВИРОБНИЧІ ПРОЦЕСИ, ВІДМОВИ, ПРОГНОЗ, ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ПРОЦЕС.