Мета роботи – розробка методики калібрування, яка дасть можливість підвищити точність вимірювань растровим електронним мікроскопом. Апаратура – растровий електронний мікроскоп, комп’ютер, зразки мір. Результати – методика калібрування, методика оцінювання невизначеності. Основні техніко – експлуатаційні характеристики - растровий електронний мікроскоп з просторовим розширенням до 0,4 нм, в якості катоду використовується V-образна вольфрамова нитка, діаметр електронного пучка 10 нм. Дану роботу можуть використовувати інженери для калібрування растрового електронного мікроскопа, студенти для вивчення дисциплін з нанометрології та нанотехнологій. Галузь застосування – нанометрологія, нанотехнології. ЕЛЕКТРОННА МІКРОСКОПІЯ, РАСТРОВИЙ ЕЛЕКТРОННИЙ МІКРОСКОП, НАНОМЕТРОЛОГІЯ, КАЛІБРУВАННЯ, МІРА ДЛЯ КАЛІБРОВКИ, НЕВИЗНАЧЕННІСТЬ. Объект исследования – растровый электронный микроскоп. Цель работы - разработка методики калибровки, которая даст возможность повысить точности измерений растровым электронным микроскопом. Аппаратура – растровый электронный микроскоп. Результаты – методика калибровки, оценка неопределенности. Основные технико - эксплуатационные характеристики – растровый электронный микроскоп с пространственным разрешением до 0,4 нм, в качестве катода используется V-образная вольфрамовая нить, диаметр пучка 10 нм. Данную работу могут использовать инженеры для калибровки растрового электронного микроскопа, студенты для изучения дисциплин о нанометрологии и нанотехнологиях. Область применения – нанометрология, нанотехнологии. ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ, РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП, НАНОМЕТРОЛОГИЯ, КАЛИБРОВКА, МЕРА ДЛЯ КАЛИБРОВКИ, НЕОПРЕДЕЛЕННОСТЬ. Object of research - the scanning electron microscope. Purpose - to develop the calibration procedures, which will help to increase the accuracy of measurements of the scanning electron microscope. Equipment - scanning electron microscope. Results - calibration methodology, estimation of uncertainty. Main technical and operational characteristics - scanning electron microscope with a spatial resolution of 0.4 nm, the cathode is used V-shaped tungsten filament, the beam diameter of 10 nm. This work can be used by engineers for calibration of scanning electron microscope, students study the disciplines of nanometrology and nanotechnology. Field of application - nanometrology, nanotechnology. ELECTRONIC MICROSCOPY, SCANNING ELECTRON MICROSCOPE, NANOMETROLOGY, CALIBRATION, MEASURE FOR CALIBRATION UNCERTAINTY.
